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成立于1986年，是中国最早从事真空技术研究开发的学术机构之一，也是国内最著名的真空设备供应商之一。
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成立于1991年，主要从事光学设备制造和研发开元体育官网入口，其中真空泵是其核心产品之一，广泛应用于半导体、太空科学等领域。
成立于1987年，是中国最早的透平型离心式真空泵制造商之一开元体育官网入口，也是国内唯一专业从事透平离心真空泵研发的企业。
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